構造微細化による物性の変化の評価・解明，応用デバイスの開発

構造をマイクロ・ナノスケールまで小さくすると，様々な物性の変化が起こります．これは構造の強度の変化だけではなく，変形の特性の変化や，電気的・熱的な物性の変化も引き起こします．そのような物性の変化は，微細なセンサやモジュールの高性能化や高付加価値化へ役立つ可能性を持っています．マイクロ・ナノスケールの小さな構造の微細加工・物性評価に取組み，特に，力学的な変形・歪みによって引き起こされる構造・物性の変化の解明・応用に向けて研究を行っています．