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富山県立大学 工学部 
電子材料研究室(竹井敏)

Toyama Prefectural University
Electronic Materials Lab. (Satoshi Takei)

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研究設備の紹介です。

研究設備

パターニング装置

電界放出型電子線描画装置

電界放出型電子線描画装置

【メーカー】Crestec

【型番】CABL-8000TF

【概要】
シリコンなどの基板にレジスト材料を用いて微細加工を施す際、材料上に微細構造を描画するための装置です。電子線を細く絞り、基板が乗っているステージを移動させることで、設計したバターンを描画します。

【用途】
微細加工用マスクの作成
レジスト材料の加工性評価

熱・UVハイブリットナノインプリント装置

熱・UVハイブリットナノインプリント装置

【メーカー】Litho Tech Japan

【型番】LTNIP-500T

【概要】
微細構造を持つモールドを材料に押し当て、熱や光で硬化させることで、微細加工を行う装置です。真空チャンバ内に金型と材料をセットした冶具を投入後、設定に従い真空脱気、加圧、紫外線照射、加熱を行います。

【用途】
微細構造作成

パターン評価

走査プローブ顕微鏡

走査プローブ顕微鏡

【メーカー】Shimadzu

【型番】SPM-9700

【概要】
探針の走査により表面構造を観察する装置です。微小な先端を持つ探針を観察サンプル上にセットし、ステージを動かして探針の上下方向変位を追跡・記録します。そのデータを計算機で処理することで、表面構造を立体的に示すことができます。

【用途】
微細加工後のパターン評価

3CCD リアルカラー 共焦点顕微鏡

3CCD リアルカラー 共焦点顕微鏡

【メーカー】Lasertec

【型番】Optelics H1200

【概要】
サンプル表面をレーザーで走査し、焦点があった位置の反射光量をもとに画像を得る顕微鏡です。zステージを昇降させ、それぞれの画像を合成することで、焦点深度の深い画像を得ることができます。

【用途】
微小三次元計測評価
微細加工後のパターン評価

化学分析

フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR-ATR)

フーリエ変換赤外分光光度計(FTIR-ATR)

【メーカー】Perkin Elmer

【型番】Spectrum two

【概要】
赤外光を用い、分子結合を同定、定性することができる装置です。サンプルに赤外光を当て、透過した光をフーリエ変換してスペクトルを得ます。本スペクトルを解析することで、物質同定に関する有用な情報を得ることができます。

【用途】
光または熱硬化反応の追跡
開発材料の化学構造評価

顕微ラマン分光装置

顕微ラマン分光装置

【メーカー】Tokyo Instruments

【型番】NanofinderFLEX-532-TPU-T11

【概要】
ラマン分光法では、試料に光を照射し発生したラマン散乱光を検出することで得られたラマンスペクトルにより分子の構造を解析することができます。得られたスペクトルからは化学結合と物質の種類の他に、結晶性や結晶格子の歪み評価を行うことが可能です。顕微鏡により1μm程度の微小な領域の表面情報や分布情報を解析することができます。

【用途】
開発材料の化学構造評価
成形試料の成分分布

ゲル浸透クロマトグラフ(GPC)

ゲル浸透クロマトグラフ(GPC)

【メーカー】Tosoh

【型番】HLC-8320GPC Ecosec

【概要】
高分子材料の分子量を把握するための装置です。高分子が溶解している溶離液を多孔質の充填剤で満たされたカラムに流し込み、分子サイズにより分離された高分子をセンサで検知し、標準試料と比較することで、分子量を算定します。

【用途】
合成した材料の分子量分布測定
高分子合成可否の判定

ガスクロマトグラフ質量分析計(GCMS)

ガスクロマトグラフ質量分析計(GCMS)

【メーカー】Shimadzu

【型番】GCMS-QP2010 Ultra

【概要】
気体を分離・分析する装置です。サンプルを気化させ、ガスクロマトグラフにて成分を分離後、イオン化させ質量分析することで、気体の定性、定量を行います。

【用途】
材料中の添加剤、不純物分析
残留溶媒の分析

物性評価

紫外可視分光光度計

紫外可視分光光度計

【メーカー】JASCO

【型番】V-650

【概要】
サンプルの光吸収特性を測定する装置です。サンプルの一方から光を光源の波長を徐々に変更しながら当て、他方のセンサで透過した光を検知します。各波長での透過率を集積しスペクトルで表示することで、サンプルの光吸収特性に関する情報を得ます。

【用途】
サンプルの光吸収特性測定
レジストとしての適応可否の判定

動的接触角測定装置

動的接触角測定装置

【メーカー】Kyowa Interface Science

Dropmaster DM-500

【概要】
サンプル表面の濡れ性を評価する装置です。サンプル表面に液を滴下し、表面張力により生じる液滴の接線とサンプルとのなす角度を測定します。

【用途】
サンプルの濡れ性評価
表面自由エネルギーの算出

ダイナミック超微小硬度計

ダイナミック超微小硬度計

【メーカー】Shimadzu

【型番】DUH-211

【概要】
微小圧子を用いてサンプルの硬度や表面物性を評価する装置です。圧子の負荷と押し込み深さをリアルタイムで計測し、サンプルの表面物性を評価します。

【用途】
薄膜表面の硬さ評価
微小サンプルの強度評価

膜厚測定システム

膜厚測定システム

【メーカー】Filmetrics

【型番】F20-UV

【概要】
光を用いた非接触の膜厚測定システムです。薄膜表面や基板との界面からの反射光を解析することで、透明・半透明の薄膜の膜厚を計測することができます。

【用途】
レジスト膜厚の測定

差圧式ガス透過率測定装置

差圧式ガス透過率測定装置

【メーカー】GTR Tec

【型番】GTR-10

【概要】
フィルムのガス透過特性を評価する装置です。フィルムの一方を真空に引き、他方を測定ガスで満たし、真空側に透過したガスをガスクロマトグラフィーシステムで測定し、ガス透過特性を評価します。

【用途】
膜のガスバリア性評価

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